专利名称：基板检测装置专利类型：实用新型专利发明人：徐容珪
申请号：CN201821922033.1申请日：20181121公开号：CN209624721U公开日：20191112
摘要：本实用新型涉及一种基板检测装置。本实用新型的基板检测装置包括：装载台，设置于底座部，所述装载台的上部面装载基板；支撑部，设置于所述底座部，且横跨所述装载台；探针单元，向规定方向可移动地设置在所述支撑部；以及测试控制部，生成所述基板的检测信号，并提供给所述探针单元，接收所述探针单元测定的信号，对所述基板执行电性检测，所述测试控制部安装于所述底座部或所述支撑部。
申请人：塔工程有限公司
地址：韩国庆尚北道
国籍：KR
代理机构：北京钲霖知识产权代理有限公司
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容